系统概述：

1.漏液检测系统定义

漏液检测系统是一种专门用于半导体生产环境的自动化设备，通过24小时不间断的监测和分析，确保生产过程的稳定性和质量。

2.漏液检测系统的重要性

漏液检测系统在半导体制造行业中扮演着至关重要的角色。确保生产的安全性和连续性，及时发现和处理液体泄漏，减少环境污染。

3.漏液检测系统在行业中的应用

漏液检测系统广泛应用于半导体制造（设备）、集成电路封装、电子元器件生产等环节，是保证生产安全防控的关键设备。

4.系统组成要素：

漏液检测系统主要由传感器、控制器和报警装置三大核心部件构成，共同完成对半导体生产过程的实时监控。

5.工作原理详解：

系统通过传感器实时在线检测，由控制器采集数据进行分析判断，一旦发现异常情况，就会立即启动报警装置。

系统拓扑图

应用场景：

储酸碱罐体：生产原料存放点泄漏造成安全事故；

酸碱运输管道：生产不能正常运行、事故隐患；

高架地板下：光刻设备间、刻蚀、IC生产车间、供水管路；

半导体设备：CVD沉积、清洗机、光刻机、空调机组、划片机、检测机等